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11月25日上午，微電子學(xué)院居水榮院長走訪了清華大學(xué)集成電路學(xué)院，該學(xué)院是國家首批示范性微電子學(xué)院和國家產(chǎn)教融合實(shí)訓(xùn)平臺建設(shè)單位。

走訪過程中，居院長與學(xué)院集成納電子所副所長田禾博士進(jìn)行了深入交流。田博士主要研究方向?yàn)槎S材料，作為通信作者在Nature雜志發(fā)表的高水平論文被評為2022年度中國科技屆十大新聞。田博士在微納電子教學(xué)和課程改革方面也取得了豐碩的成果，其主講的《先進(jìn)微納電子器件原理與制備》課程采用虛實(shí)結(jié)合方法，基于VR設(shè)備直觀體驗(yàn)微納電子器件制造場景，借助VR技術(shù)和仿真器學(xué)習(xí)亞10nm FinFET的制造流程，取得了很好的教學(xué)效果。

居院長還參觀了清華大學(xué)集成電路學(xué)院投資4億元的微納加工線。（撰稿：陸淵章 審核：居水榮）