国产成人综合日韩精品无码_人人草人人干超碰免费_9亚洲色图视频在线观看_av网址国产在线看_无码专区

東南大學(xué)1983年開始集成傳感器的研究，并于1985年在歐洲固態(tài)電子器件會議《ESSDERC￠85，Germany, p.88》報道了集成MOS流量傳感器的研究結(jié)果；1986年開始了硅片直接鍵合技術(shù)研究，并于1987年在《Applied Surface Science，30(2)，397（1987）》報道了硅鍵合材料的測試結(jié)果；1987年開始了微傳感器CAD研究，并于1988年在《Solid State Electronics，31(2)，237（1988）》報道了MOS磁電耦合的計算機模擬結(jié)果。由于國際上MEMS的出現(xiàn)，實驗室于1989年申請、1990年獲準國家自然科學(xué)基金項目“微機械加工靜電式微電機的研究”（批準號：59075220），并于1991年在《Transducers’91, p.894，USA》上報道了基于氣體潤滑的微馬達研究結(jié)果。九十年代，實驗室MEMS研究得到了快速發(fā)展，出版了國內(nèi)MEMS專著《硅微機械加工技術(shù)，科學(xué)出版社，1996年1月》、與美國DUKE大學(xué)合作出版了國際上第一本鍵合技術(shù)專著《Semiconductor wafer bonding, John Wiley & Sons, 1998》。

MEMS是一門新興的交叉學(xué)科，為適應(yīng)這種發(fā)展和需求，東南大學(xué)以電子科學(xué)與工程學(xué)院的《微電子學(xué)與固體電子學(xué)》學(xué)科為主題、結(jié)合工程力學(xué)系和機械工程學(xué)院相關(guān)課題組，組建了跨學(xué)科的研究結(jié)構(gòu)，于1999年申請建立教育部重點實驗室。實驗室2000年6月通過教育部可行性論證、2001年9月通過教育部驗收、2002年11月通過教育部評估。

實驗室聘請了一批國內(nèi)知名專家組成了學(xué)術(shù)委員會；現(xiàn)有教授9人（其中博士生導(dǎo)師4人）、副教授9人，每年招收碩士生30名左右、博士生10名左右；實驗室具有國際先進水平的設(shè)計研究基礎(chǔ)設(shè)施，較好的加工和測試儀器設(shè)備；實驗室同時又是國家“211”工程、“985”工程重點建設(shè)部門；目前承擔(dān)了國家973項目、863項目、科技重大專項、國家自然科學(xué)基金重點項目、總裝備部、教育部、地方政府等重大/重點科技研究與開發(fā)項目。

實驗室設(shè)立了三個研究方向，包括MEMS及其設(shè)計技術(shù)、MEMS驅(qū)動與檢測電路、NEMS材料、結(jié)構(gòu)與器件。這些方向涵蓋了微納系統(tǒng)從設(shè)計、仿真到加工、封裝、測試和應(yīng)用的各個環(huán)節(jié)，既培養(yǎng)了學(xué)生在傳統(tǒng)微電子領(lǐng)域的各項基本技能，又面向下一代微納器件的研究和發(fā)展。除讀博和出國深造以外，研究生在高新技術(shù)領(lǐng)域的就業(yè)率達到100%，就業(yè)面覆蓋傳感器、模電、數(shù)電、系統(tǒng)、工藝、電子器件、軟件、信息等各個領(lǐng)域，包括Intel、ADI、Honywell、移動、華碩、華為、華潤、南瑞和國家專利局等知名企業(yè)和機構(gòu), 為國家微電子、傳感器和微系統(tǒng)領(lǐng)域培養(yǎng)了大量科研和工程人才。